否
Honeywell/霍尼韦尔
AWM5000
流量
聚合物
半导体
集成
模拟型
3.0（%F.S.）
0.5（%F.S.）
0.5（%F.S.）
企业名：北京联科创业科技发展有限公司
类型：经销商
电话： 010-82564660
联系人：谢辉
地址：北京北京市北京海淀区长春桥路5号4栋208室
AWM5000系列气体质量流量传感器特点：
● 各种流量接口可选
● 文丘里管设计
● 远程安装
●激光校整CO2，N2 氩气的标定
AWM5000系列气体质量流量传感器在线测量
AWM5000系列气体质量流量传感器为文丘里流量管形外壳，可以测量*高至20 升/ 分钟，*大压降2.25”水的气流。微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
AWM5000系列气体质量流量传感器采用坚固，通用的封装形式，该流量传感器坚固，塑料的封装能承受50psi的共模压力，内部的小型传感芯片能允许100 克的冲击在额定指标下，两个测量孔是单独模件，可在*小的模具花费下根据实际更改，*式AMP 连接器提供十分*的连接。
AWM5000系列气体质量流量传感器内置的信号处理电路
该系列AWM5000，每个气体质量流量传感器产品都包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定，气体标定通过激光校整得到。
图1 AWM5000系列气体质量流量传感器发热器控制电路
R1• 3.3K R2• 5.OK R3• 1.82K R4• 24.9K R5• 24.9K R7• 200K R8• 32K R9• 6.0K R11• 10K R12• 400K R13• 3.5K R14• 5K R15• 5K R16• 400K R17• 400K R18• 9K R19• 1K Ra• 500
Rb• 3.0K Rc• 1.0K Rf• 6.0K
图2 AWM5000系列气体质量流量传感器传感桥电路和放大线性电路
AWM5000系列气体质量流量传感器技术规格
| AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
流量范围 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
后缀-标定气体 | VA-氩气（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮气（N2） | |||
| Min T* Max | |||
推荐供电电源VDC | 8.0 10&plu*n;0.01 15 | |||
功耗（mW） | 100 | |||
反应时间（mA） | 60 | |||
*点输出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
*点漂移，VDC -20~70?C | &plu*n;0.050 &plu*n;0.200 | |||
*大共模压力psi | 50 | |||
温度范围 | -20~ 70?C | |||
冲击指标 | 100g峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向） | |||
输出@ 较整点 | 5VDC@ 满量程流量 | |||
压差@ 满量程 | 参照压力& 气流表 | |||
满量程输出漂移 20?~-25?C 20?~70?C | 后缀VA 或VN &plu*n;7.0% 读数，VC &plu*n;10.0% 读数 | |||
线性误差 | &plu*n;3.0% 读数 | |||
迟滞& 重复性 | &plu*n;0.5% 读数 | |||
连接器（4pin receptacle) | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
泄漏max | 0.1psi/min,在静态中 | |||
注：1、供电电压除10.00&plu*n;0.01VDC 外，不*标定值。
2、线性误差适用于2-100% 满量程，但不适用0 LPM 时*输出
3、在50psi 内压下，AWM5000 系列每分钟泄漏小于0.1psi，如果安装时，相对于流量管的连接器被扭转，将会破坏O 形圈和流量管之间的密封，引起暂时汇漏，可*1psi，也可能在指标内，换上新O 形圈后，密封恢复，大约85% 的泄漏在24 小时内消除，48 小时内，可*恢复。
AWM5000系列气体质量流量传感器安装尺寸：
AWM5000系列气体质量流量传感器(大流量/ 放大)输出曲线
友情链接： 深圳市元东发电子有限公司
