详细介绍：

Smartec的电容式湿度传感器SMTHS07采用玻璃衬底上的硅工艺。底层和顶层采用传导层，中间层采用对湿度敏感的聚酰亚胺。传感器介质的精 确选取使得湿度传感器不依赖于温度而变化，传感器的顶层具有网格结构。传感器把湿度转换为电容值，对湿度的响应时间小于15s,时滞非常低（小于 2%RH).

• 宽湿度范围(0~100%RH)
• 抗凝结
• 单点校准
• 在20%~95%RH之间，好于2%的高线性度
• 快速反应时间小于15s
• 长期稳定性0.2%/年
  
  

  		HS07
  参数	条件		通常		单位
  电容	55%RH	310	330	350	pF
  敏感度	20-95%RH		0.6		pF/%RH
  迟滞	20-95%RH			2	%RH
  线性度	20-95%RH			±2	%RH
  响应时间	30-90%RH			15	sec
  温度系数	5-70℃	0.15	0.16	0.17	pF/℃
  长期稳定性				0.2	%RH/year
  温度范围		-40		120	℃
  测湿范围		0		100	%RH
  频率范围		1		100	kHz

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