品牌:MKS 型号:1179A/2179A 类型:质量流量计 测量范围:10sccm~20slm（m3/h） 适用介质:气体
1179A
流量比例控制器（通用型）
1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，*是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，1179A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。
技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 100%的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.
响应速度：小于2Sec.
输入电压：&plu*n;15VDC@100ma
输出电压：0-5VDC
连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字：RS485或Device net或Profibus
法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材质：316不锈钢。
质保期：有限保修自售出之日起12个月。
例：型号1179A00411CR1A5VXX 采购序列号
校准气体（SEMI气体编号）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
