-
自动配气系统主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量，配置出满足需要的不同组份浓度的各种标准气体。标准气体配气的方法包括称重法、分压法、静态容量法、流量比混合法、渗透法、扩散法、体积比法等。该自动配气系统采用流量比混合法，是一种动态配气法，通过严格控制*比例的组份气体和稀释气体的流量，并加以混合而制定标准气体。与瓶装标准气相比，使用该方法能够在同一配气系统上，可以配置出满足需要的不同组份浓度的各种标准气，配制的目标组分标准气体浓度可达10-9 级且连续可调；可稀释范围宽，可以*1/2000；系统不受环境温度与压力变化影响, 可以适用于配制高、低浓度的多种目标组分标准气体，甚至包括*性气体和毒性气体，具有很好的应用价值；采用气体质量流量计控制每一路所需的原料气体的流量，可以控制配制目标组分标准气体的总流量，实现连续配制并供给目标组分标准气体，使用方便、灵敏度高、精度高。
-
流量规格(N2)
（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10，20，30） SLM
准确度
±1.0% S.P . (≥35% F.S.)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.)
线性
±0. 5% F.S.
重复精度
±0.2% F.S.
工作压差范围
0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM
＜0.02MPa
0.1~0.35Mpa 流量规格＞10SLM
温度系数
*点：≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃
耐压
3MPa
响应时间
≤2sec
漏率
1×10-10pa.m3/sec He
密封材料
氟橡胶; 氯丁橡胶
工作环境温度
(5~45) ℃
-
DGS03自动配气系统.pdf
