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产品特点：
*新一代MEMS传感器芯片技术
无漂移，无滞后
精度高，响应速度快，重复性好
低功耗（使用脉冲激发电流）
可*测量*小流量
经过*校准和温度补偿
线性或*特性输出；模拟或数字输出
工作原理:
芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成：热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游；加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压，即本征塞贝克效应。请参看左图：加热电阻两侧的等温线。当流体静止时，等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从左向右流动时，等温线向右侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度*相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可直接测出流体质量流量。应用领域：
*设备：呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等
暖通空调：变风量系统 (V*)、过滤器监控、风扇通风控制等
工业过程控制：燃烧器控制
空气和环境保护
便携式仪器
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如无*说明，以下参数是在环境温度0℃、湿度40% - 60%、大气压101kPa、电源电压DC 10.00V条件下获得。
型号
F1012-20
F1012-100
F1012-200
F1012-1000
F1012-2000
单位
*小
典型值
*大
*小
典型值
*大
*小
典型值
*大
*小
典型值
*大
*小
典型值
*大
测量范围
0
20
0
100
0
200
0
1000
0
2000
sccm
满量程输出
4.95
5.00
5.05
4.95
5.00
5.05
4.95
5.00
5.05
4.95
5.00
5.05
4.95
5.00
5.05
V
*点输出
0.96
1.00
1.04
0.96
1.00
1.04
0.96
1.00
1.04
0.96
1.00
1.04
0.96
1.00
1.04
V
建议负载
20
50
∞
20
50
∞
20
50
∞
20
50
∞
20
50
∞
KΩ
电源电压
7.0
10.0
15.0
7.0
10.0
15.0
7.0
10.0
15.0
7.0
10.0
15.0
7.0
10.0
15.0
V
电源电流
15
25
30
15
25
30
15
25
30
15
25
30
15
25
30
mA
精度
1.5
2.5
1.5
2.5
1.5
2.5
1.5
2.5
1.5
2.5
%FS
重复性
0.3
0.5
0.3
0.5
0.3
0.5
0.3
0.5
0.3
0.5
%FS
年漂移①
0.1
0.5
0.1
0.5
0.1
0.5
0.1
0.5
0.1
0.5
%FS
分辨率
0.03
0.12
0.2
1.5
3.0
sccm
共模耐压
250
250
250
250
250
kPa
反应时间
5
10
15
5
10
15
5
10
15
5
10
15
5
10
15
ms
工作温度②
-25
65
-25
65
-25
65
-25
65
-25
65
℃
储存温度
-40
90
-40
90
-40
90
-40
90
-40
90
℃
①测试条件为室温、常压、普通清洁空气。
②温度补偿范围为0-50℃。
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F1012.pdf
