电容式传感器[4]与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点：
(1)高阻*、小功率,因而所需的输入力很小，输人能量也很低。电容式传感器因带电*板 间静电引力*小(约几个10-5 N)，因此所需输入能量*小，所以*适宜用来解决输入能量低的 测量问题，例如测量*低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏,分辨力*髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)温度稳定性好。传感器的电容值一般与电*材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热*小，对稳定性影响甚微。
(3)结构简单，适应*，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。电容式传感 器结构简单,易于制造,可做得*小巧，以实现某些*的测量;能工作在高低温、强辐射及强 磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。
(4)动态响应好。由于*板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很 高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，*适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。
(5)可以实现非接触测量，具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠 轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙 等对测量的影响。
编辑本段不足之处
电容式传感器存在的不足之处如下：
(1)输出阻*高，负载能力差。
(2)寄生电容影响大。
电容式传感器的初始电容量很小,而传感器的引线电缆电容(lm~2m导线可达800 pF)、测 量电路的杂散电容以及传感器*板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降 低了传感器的灵敏度;另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，将使传感器工作不稳 定，影响测量精度，其变化量甚至*过被测量引起的电容变化量，致使传感器无法工作。因此对 电缆的选择、安装、接法都要有要求。
为减小电缆分布电容影响，可将电子线 路的前级装在离传感器敏感部分很近的地 方，或采用所谓“双层屏蔽等电位传输技术”，
又称“驱动电缆”技术。这种方法的基本思路 是:连接电缆采用内外双层屏蔽，使内屏蔽层 与被屏蔽的导线电位相同，因而两者之间没 有容性电流存在，这样使引线与内屏蔽之间 的电缆电容不起作用，外屏蔽仍被接地而对 外界电场起屏蔽作用，其原理如图5 - 15所 示。外屏蔽接地后，对地之间电容将成为1:1放大器的负载，它也与电容式传感器的电 容无关。这样无论电缆形状和位置如何变化，*会对传感器的工作产生影响。

  驱动电缆原理图
*：采用驱动电缆技术,即使电容式传感器电容较小，在传输电缆长达10 m时，传感 器仍能很好地工作。
两点注意：
工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该先择低于谐振频率。
电容式传感器的*电容除与位移有关外，还与角频率有关。因此，在实际应用时*须与标定的条件（ω）相同。

 
编辑本段测量电路
电容传感器的特点：电容量小，变化更小（PF级）。理论上，交流电桥可作为电容传感器的测量电路，但由于电容及变化太小，不易实现。包括（1）调频电路（2）运算放大器式电路（3）二*管双T形交流电桥（4）脉冲宽度调制电路
调频电路
特点：
（1）转换电路生成频率信号，可远距离传输不受干扰。
（2）具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。
（3）但非线性较差，可通过鉴频器（频压转换）转化为电压信号后，进行补偿。

 

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