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PET
中国
DK10
1000(mm)
良好
好
0.05,0.075,0.1,0.125,0.188(mm)
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为半导体制造行业提供微缺陷检测系统的RudolphTechnologies公司日前推出了款透明薄膜测量系统S3000A。S3000A系统在公司高速XPort自动平台上结合了多波长聚焦束椭圆偏光测量(FBE)及更新更快速的深紫外反射(DUVR)技