企业名:北京汇德信科技有限公司
类型:经销商
电话: 010-82867920
联系人:陈宁
邮箱:contact@germantech.com.cn
地址:北京北京市海淀区五道口华清嘉园7号楼706
∟ LED外延片/芯片制造设备(1)
PhableR 100 紫外光刻机提供了一种前所未有的功能,它是一套低成本的光学曝光系统,但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似,涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面,被紫外光束照射。由于Eulitha公司拥有突破性的PHABLE曝光技术,在"PHABLE"模式下,分辨率不再受到衍射的限制,从而曝光出亚微米的线性光栅和二维光栅(六角形和正方形),且曝光结果非常均匀,质量很好;在"mask aligner"模式下,能非常轻松地获得微米尺寸的图形。
特点:
优势:
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