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PhableR 100 紫外光刻机

供应PhableR 100 紫外光刻机
供应PhableR 100 紫外光刻机
  • 型号/规格:

    PhableR 100

  • 品牌/商标:

    Eulitha

普通会员
  • 企业名:北京汇德信科技有限公司

    类型:经销商

    电话: 010-82867920

    联系人:陈宁

    邮箱:contact@germantech.com.cn

    地址:北京北京市海淀区五道口华清嘉园7号楼706

商品信息

PhableR 100 紫外光刻机提供了一种前所未有的功能,它是一套低成本的光学曝光系统,但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似,涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面,被紫外光束照射。由于Eulitha公司拥有突破性的PHABLE曝光技术,在"PHABLE"模式下,分辨率不再受到衍射的限制,从而曝光出亚微米的线性光栅和二维光栅(六角形和正方形),且曝光结果非常均匀,质量很好;在"mask aligner"模式下,能非常轻松地获得微米尺寸的图形。

 

特点:

 

  • 可达到步进光刻机的高分辨率
  • 操作简单性与紫外曝光机相同
  • 光子图形化的低成本解决方案

 

优势

 

  • 高分辨率(低于300nm pitch)
  • 全场曝光
  • 非接触式:防止掩膜受损及被污染
  • 焦深几乎没有限制
  • 表面不平的衬底也适用(如外延片)
  • 均匀性高
  • 具有套刻对准能力
  • 商业化的可获得的光刻胶和材料都适用
  • 使用传统的掩膜板(玻璃上镀铬)
  • 频率倍增


联系方式

企业名:北京汇德信科技有限公司

类型:经销商

电话: 010-82867920

联系人:陈宁

邮箱:contact@germantech.com.cn

地址:北京北京市海淀区五道口华清嘉园7号楼706

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