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扩散硅压力传感器

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扩散硅压力传感器技术资料

  • 扩散硅压力传感器选型须知

    利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。选型须知1、传感器、变送器的

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