EG2001
东京精密
产品名称:探针台EG2001 EG2001是ELE*ROGLAS公司的PCM参数测试用的全自动探针台,载片台(CHUCK)可以加热或通压缩空气,用于不同温度的参数测试,可以通过显示器观察对片,电机控制显微镜的左右(X),前后(Y)和上下(Z)使操作方便。可以直接利用软件实施控制。 EG2001自动探针台主要特点: 1、EG2001是ELE*ROGLAS公司针对半导体晶片在片测试生产的全自动探针台,设计上具有高、模块化的特点,可以按照客户的能要求进行组件的选配。通过可选组件的配置可以实现自动上卸片、晶片自动对准、自动测试、载片台(CHUCK)温度控制、自动分选等能。 2、EG2001自动探针台的是采用空气静*承的Linear Reluctance Stepper Motor磁阻式平面步进电机。与其它品牌的同类产品所采用的滚珠丝杠结构相比,该结构具有气浮轴承长期连续使用无机械磨损、控制系统完善、步进高、启停*、噪音小、维护方便等优点。 3、EG2001自动探针台具有良好的兼容性,可与各*的主流测试设备配合使用。 4、升级后的EG2001系统用文件处理代替了EG2001系统的软盘,实现了MAPPING 以及数据文件的保存、检查、打点的*能,通过网络直接传送、处理、保存数据。新系统将原来用手工转存软盘文件、
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