载物台

尺寸

4"（2"、6"、8"方案可选）

材质

合金铜

表面处理

可选纯金镀层或沉镍镀层

平整度

<50μm@300℃

载物台移动基座（可选项）

X-Y轴行程范围

4"*4"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选

精度

1μm

R轴微调角度范围

±9°

R轴微调精度

0.0001°/deg

Z轴细调行程范围

13mm

细调精度

1μm

Z轴快升行程

350μm

Z轴往复精度

<1μm

温度控制系统

温度范围

80k-573k

温度精度

0.1℃

温控精度

温控精度0.1℃，连续变温无节点。

温度均匀性

0.1℃@4(100mm)载物台。

加热方式

电阻加热

制冷方式

液氮制冷

杜瓦罐容量

80L自增压液氮杜瓦罐

致冷剂消耗量

15L液态氮（室温降至80k）

温度扩展范围

4k-1073k

真空系统

真空度

10^-3mbar*（可配套分子泵组，达到更高的真空度10^-6mbar）

真空泵

旋片式双级油封真空泵，可升级涡轮分子泵组

抽速

16m³/h

抽真空时间

5min（10^-3mbar）

真空焊接波纹管

三维弯曲大于25mm（定制参数）

法兰

KF（更高真空度要求则使用CF）

真空腔体

腔体材质

不锈钢

观察舷窗

红外截止玻璃**

真空泵接口法兰

KF25

液氮接口法兰

KF25

点测系统

探针座数量

4个（多8个，可根据需求定制）

探针夹具

4个（多8个，可根据需求定制）

定位精度

5μm（可根据需求定制）

X-Y-Z轴移动行程

25mm*25mm*25mm（可根据需求定制）

光学系统（体视显微镜）

光学放大倍数

15X-100X

变焦倍率

0.75X-5X（变倍比6X）

CCD

1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口

显微镜旋臂

两段式显微镜支架，可快速移动定位显微镜

光学系统（单筒显微镜）

光学放大倍数

400X(21英寸显示器)

变焦倍率

0.58X-7X（变倍比12X，超大变倍范围）

CCD

1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口

显微镜旋臂

两段式显微镜支架，可快速移动定位显微镜

显微镜移动基座（可选项）

X-Y轴行程范围

2"*2"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选

精度

1μm

防震台

隔震方式

气囊式防震台

固有频率

1.2Hz（水平），1.5Hz（水平）

样品振动

<300nm（真空泵工作时）