可编程的升、降温功能
青岛福润德
干法氧化、湿法氧化、水汽氧化
停电后断点继续运行功能
企业名：青岛福润德微电子设备有限公司
类型：生产企业
电话： 053268017157
手机：13668894181
联系人：徐鲁阳
QQ： 
邮箱：1181289003@qq.com
地址：山东青岛青岛市城阳区北万工业园6号
氧化扩散炉性能特点：
◆具有可编程的升、降温功能
◆采用滤波器、屏蔽板等装置，有效解决电网、磁场的干扰
◆windows xp全中文视窗操作系统，可储存1000条曲线，每条曲线设置30步
◆自动运行中可暂停／继续运行功能
◆工艺方式：干法氧化、湿法氧化、水汽氧化
◆PlD参数自整定功能，可存储多组PlD参数供系统运行调用功能
◆系统故障的检测与报警功能、系统误差修正(单点或多点动态修正功能)
◆具有停电后断点继续运行功能
◆工艺方式：干法氧化、湿法氧化、水汽氧化
企业名：青岛福润德微电子设备有限公司
类型：生产企业
电话： 053268017157
手机：13668894181
联系人：徐鲁阳
QQ：
邮箱：1181289003@qq.com
地址：山东青岛青岛市城阳区北万工业园6号
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