扩散炉
青岛福润德
400片/管
进口MFC
企业名:青岛福润德微电子设备有限公司
类型:生产企业
电话: 053268017157
手机:13668894181
联系人:徐鲁阳
邮箱:1181289003@qq.com
地址:山东青岛青岛市城阳区北万工业园6号
太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm?125mm、156mm?156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
技术指标:
可处理硅片尺寸:125mm?125mm、156mm?156mm
外型形式:卧式1—4管结构
载片量:400片/管
扩散方式:闭管扩散、软着陆全封闭
工作温度:200℃—1300℃
恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤?1℃
单点温度稳定性、重复性: ≤?1℃/24h
温度控制:5段控温
总功率:120KVA
送片装置:悬臂推拉舟,碳化硅桨载重17kg
气路系统:1—5路工艺气体/管
气体控制:进口MFC
控制方式:工控机、触摸屏
Thinnerwafers:180Um
Break rate:0.8%
方阻均匀度范围:片内?5%,片间?5%,批间?5%
企业名:青岛福润德微电子设备有限公司
类型:生产企业
电话: 053268017157
手机:13668894181
联系人:徐鲁阳
邮箱:1181289003@qq.com
地址:山东青岛青岛市城阳区北万工业园6号
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