产品名称：微型光电传感器

产品类型：晶圆片托架落座传感器

产品型号：EE-SPY801 / SPY802

产品特点：

晶圆片托架的落座检测

• 通过与导槽并用的方式设定落座位置

• 与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂

• 独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

• 采用抗干扰光的变调光方式

• 使用环保导线（无滑石粉）

附件（另售）: 

导槽 （ EE9-C01 / EE9-C02 ）

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