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骄傲！国产5nm蚀刻机通过验证，进入台积电5nm生产线[2018-12-19]
作为全球头号代工厂，台积电的新工艺正在一路狂奔，7nm EUV极紫外光刻工艺已经完成首次流片，5nm工艺也将在2019年4月开始试产。　　不过众所周知，半导体工艺是一项集大成的高精密科技，新工艺也并非台积电自己完全搞定，而是依赖整个产业链的设备和技术供应，比如大家比较熟悉的光刻机，...
中微蚀刻机与台积电合作携手45纳米前进32纳米[2009-03-02]
据DigiTimes网站报道，大陆本土半导体设备业者中微半导体尽管在与国际大厂应用材料(AppliedMaterials)及科林研发(LamResearch)官司缠讼之中，但开拓市场脚步未停歇，目前45纳米蚀刻机台已经打入台积电12寸厂，正在进行设

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