ZLM800双频激光干涉仪是德国Jenaer公司生产的新一代激光干涉仪。把性能稳定的氦氖气体激光与电子电路相结合，可制造出新型的干涉仪测量系统。

可编程ASIC装置可根据用户的要求，可提供*的个性话测量系统。

ZLM800激光干涉仪广泛应用于*校准系统、多轴定位系统，及快速动力学的*控制系统。它还可*评估机器及机械的动力学动作，以便通过WINDOWS软件，按用户规定的方式对该动作进行分析。

*模块化系统均配有*蔡司光学，ZLM800激光干涉仪为用户*的应用测量系统提供*的解决方案：

位置 距离 速度 加速度 角度 振动 直度 垂直度 平坦度 整齐度

工作模式

*型ZLM800激光干涉仪使用氦氖气体激光，在双频外差中工作。 激光热稳定性为0.002 ppm,两种模式的640MHz频率用于信号处理相当于四倍。这种高频处理信号可以对运动速度*块的物体进行测量，而没有干扰误差，信号**短。

干涉仪光学到PC插槽上电子计数器电路信号的传输通过光纤电缆来进行，它可阻止外部电磁环境的干扰。因此ZLM800适用于恶劣的生产环境、标准测量环境及高真空环境。

作为PC插槽的替代品，可使用*的数据处理电子单元，它带有多个接口，用于数据输出、连接闭环控制回路。该型号的干涉仪可以扩展为五轴测量。

要点

被测物体*大速度16m/s 无干扰误差时的分辨率2.5nm(带平面镜干涉仪时为1.25nm) 加速度无限制 即使*低的光线水平，探测信号也十分稳定 信号*<200 ns 激光寿命内，频率稳定 对电磁干扰不敏感 适用于*蔡司光学的高真空

*性测量方法

通过相关的测量工具及简单的操作，ZLM800干涉仪可完成*稳定的测量任务，**合ISO9000/9004标准规范。

ZLM800系统增加了测量的*性和稳定性

世界范围内，ISO9000/9004是产品质量控制管理的统一标准，严格根据该标准来进行的质量检测，可以*任何制造企业产品质量的性能。

测量的稳定性由测量工具、测量方法和操作者等多方面因素决定，调整系统的测量误差会*大影响稳定性。

一种新的测量助手，通过软件可以*大限度减小整个测量系统的调整误差。两个四象限传感器置于激光测量头内， 一个用作测量光束，一个用作参考光束，*了干涉仪系统能够以*优的方式与被测的物体相对齐。由于大屏幕显示，对齐会显得*敏感。

使用调整助手的优点:

• 系统调整精度显示的建立时间*小化
• 即使在*复杂的设置中，激光头的调整是*要的程序
• 通过*高的*性能来解决调试的任务

智能化测量方法

ZLM800信号处理电路是以可变成ASIC装置为基础的。对于双频激光干涉仪ZLM800，在测量工作中，不同信号之间的相互作用，是*没有问题的。

ZLM800可以与外部计数系统相连接。使得测试设备和激光测试仪的比较*合常规、节约时间。该过程使用实时信号偶合，按照德标或国际标准对数据进行分析。

激光测试仪作为*准确三维测量工具，测量数据易于记录，不易丢失。这些优点使得ZLM800激光测试仪是机器设备校准和鉴定使用德理想选择。

评估标准

VDI / DGQ 3441

DIN / ISO 230

VDI / VDE 2617

NMTBA

精准的测量方式

即使选用标准的配置，ZLM800激光测试仪的分辨率也能够*5nm，测量误差*1µm/m。这是基于环境条件（*情况下的物质温度）通过AUK500自动环境补偿仪（气象站）*记录下来的情况，并且周围环境情况与测量室内条件一致。

使用ZLM800激光干涉仪，使得长度测量设备和比较设备的校准变得更为容易和简单。

周围环境对测量结果的影响可通过AUK500自动环境补偿器或手工输入来修正。*多可使用5个物质温度传感器来补偿被测物体的线性偏移。

简便的测量方式

ZLM800激光干涉仪带有WINDOWS™数据分析软件，使得长度测量精度*为准确，而且对数据的分析也*为方便。 可随意登陆测量数据、表格和图表，并且可充分利用WINDOWS™程序的各种优势。无论是测量位置、角度或者是直线度，由Carl Zeiss设计的*软件可以集成到任何的微软WINDOWS™系统中。测量、分析、记录和数据存档过程都可在短时间内轻松任意的完成。

在程序设计的过程中，用户*关心的一个问题是测量结果的记录。集成式记录编辑器使得编辑和打印某条图表、表格和用户增加的内容更为容易。*记录的内容都可通过剪贴板上的中间编辑器来导出到文字处理器里。

		在准备和测量的过程中，*重要的信息项目要进行明显的显示。通过使用鼠标或很少的几个按键，就可进入*的功能程序中。
要评估和分析测量的数据，通过简单的操作，就可生成各种图形和表格。甚至某些*小的细节都可囊括进去。
		测得的数据可以在文档卡中存档。通过卡片标签，可以多某些*数据进行快速检索，甚至从大量数据中进行检索。

干涉仪长度测量的性能类别

测量 记录打印 鉴定 过程优化

校准、定位、对齐 机械误差补偿 主轴导线误差补偿 螺距误差补偿

控制 运动分析 动态行为 误差补偿

ZLM800双频激光干涉仪技术参数

真空中氦氖激光平均波长	632.8 nm
波长稳定性	2*10-9 一个小时 2*10-8 寿命周期内
激光束直径	6mm (可选3.2mm)
应急扩展激光束*大输出	1mW
每束激光测量轴数量	1, *多可选择6个
距离测量范围	130英尺，*多可选390英尺
角度测量范围	±15°，长度*大65英尺
直线度测量范围	±0.195英寸， 长度6.5英尺，或32.5英尺
*大速度
线性	<4m/s，可选16m/s
角度	<320 rad/s
距离分辨率
立体角镜干涉仪	2.5nm  (可选0.3nm)
平面镜干涉仪	1.25nm (可选0.1nm)
非线性度
立体角镜干涉仪	± 1.25nm
平面镜干涉仪	± 0.62nm
角度分辨率	0.62*10-7rad
直线度分辨率	145 nm，32.5时 29 nm， 6.5英尺
接口	正交信号 3*it(实时时间) Δt≈20ns
内部环境	15°C ... 30°C 光学/高真空

企业名：上海帕瓦内电子科技有限公司

类型：经销商

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