■■热解氮化硼及涂层产品

■产品概述

热解氮化硼（PBN）是特种陶瓷材料，是本公司在*设备上用化学气相沉积的工艺制得的。热解氮化硼的沉积过程，宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基体材料上，**厚度后，*终冷却脱模而制成。

■规格：

■主要特点：

Ø     材料呈白色，*、无孔隙、易*。

Ø     *达99.99％，表面致密，气密性好。

Ø     *，强度随温度升高，2200℃**大值。

Ø     耐酸、碱、盐及*试剂，高温与*大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。

Ø     *热震性好，热导性好，热膨胀系数低。

Ø     电阻高，介电强度高，介电常数小，磁损耗角正切低，并具有良好的透微波和*性能。

Ø     在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。

■产品应用

Ø     半导体单晶及III－V族化合物合成用的坩埚、基座：

     原位合成GaAs 、InP 、GaP单晶的LEC系列坩埚。

     分子束外延用的*E系列坩埚。

     VGF、VB法系列坩埚。

Ø     PBN/PG复合加热器涂层。

Ø     石墨加热器*缘涂层。

Ø     高温*缘流体喷嘴。

Ø     MOCVD*缘板。

Ø     异性坩埚及异性石墨件涂层。

Ø     晶片退火工艺用复合加热器。

Ø     微波窗口

企业名：上海禹王精密陶瓷有限公司

类型：生产企业

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