类型:四探针测试仪 品牌:恒奥德 型号:GSZ-RTS-3 测量范围:见资料(MΩ)
四探针测试仪 测试仪 型号:GSZ-RTS-3
手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法*标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,*于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
仪器采用了*新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
技 术 指 标: |
|
测量范围 | 电阻率:0.01~1999.9Ω.cm; 方块电阻:0.1~19999Ω/□;
| 恒流源 | 电流量程分为100μA、1mA两档,两档电流连续可调 | 数字电压表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 输入阻*:>1000MΩ; 精度:&plu*n;0.1%; 显示:以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;*性、*量程自动显示; | 四探针探头基本指标 | 间距:1&plu*n;0.01mm; 针间*缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或*钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力); | 四探针探头应用参数 | (见探头附带的合格证) | 模拟电阻测量相对误差 | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%&plu*n;1字 | 整机测量*大相对误差 | (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤&plu*n;5% | 整机测量标准不确定度 | ≤5% | 外型尺寸 | 185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高) | 重量 | 350g | 电源 | 锂电池,充电可连续使用100小时; | 标准使用环境 | 温度:23&plu*n;2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射; |
|