品牌:K-MAC 型号:ST5030-SL 测量范围:10nm～35 分辨率:1nm
测量范围 | 10nm～35µm |
测量分辨率 | 1nm |
测量速度 | 1～2 sec/site |
平台尺寸 | 300mm×300mm |
测量样品尺寸 | 4～12” |
光斑尺寸 | 40?/20?, 4?(可选) |
测量原理 | 反射计 |
测量方法 | 非接触 |
类 型 | 自动 |
尺 寸 | 500×750×650 mm |
重 量 | 100Kg |
适用温湿度 | 5～35°C, 30～80% RH |
照 明 | 12V / 100W卤素灯 |
可选项目 | 标准样品 *震台 |
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