液晶盒间隙厚度测量仪 一．用途 本测量仪可用来测量液晶盒内间隙之厚度（1um―10um）；电容膜或其他类型薄膜的厚度（1um-50um）；也可当作台阶仪用来测量十分薄的薄膜的厚度（10nm-1um），如液晶显示器中的PI膜、ITO和氧化硅层厚度的测量。 二．测量原理 激光束以不同入射角投射到被测样品中，利用激光束从液晶盒内空气间隙的两个界面的反射光所产生的光干涉效应，通过仪器的设计把无法直接测量的微小空气间隙厚度放大成可直接测量的直线长度从而确定空气间隙的厚度。测量仪有I型和II型两种不同结构，I型激光束是由上向下投射到被测样品。II型激光束是由下向上投射到被测样品。 三．主要技术性能 1．测量范围：10nm-50um。 2．测量精度：对厚度在10nm-1um范围测量的*对误差为1nm；对厚度在1um―10um范围测量的百分误差小于0.1%；对厚度在10-50um范围测量的百分误差小于0.3%。 3．光源：波长为0.675um的半导体激光器。 4．测量方法：用鼠标控制计算机介面显示的按钮用1性、全自动地进行测量和数据处理，并显示出测量结果。 5．载样品台尺寸及被测点的限制：I型的载样品台尺寸为 200mm * 150mm ,被测样品的尺寸无限制但要求被测点与被测样品其中一条边界的距离不大于 75mm 或可根据用户要求重新设计。II型的载样品台尺寸为 300mm * 200mm ,对被测样品的尺寸和被测点的位置均无限制。 6．测量时间：小于2秒/点。 7．使用电源：交流220伏、150瓦，为*测量精度宜采用具有稳压及脉冲滤波的电源供电。 四．售后服务 仪器保修2年。以后维修只收*件更换费。 五．仪器之比较 现在市场上供应的厚度（1-50μm）测量仪器，一般采用反射计，它通过测量垂直入射白光的反射率来确定样品的厚度，这类仪器采用分光光谱技术还需要*的光强度的测量设备，因此价格较为昂贵，由于光强测量的*性依赖于测量元器件性能的稳定性随着环境条件的变化或经过长时间使用后**测量结果的一致性，仪器的维护费用高。 本仪器是中山大学物理系史隆培*所发明，测量方法十分简单而*仪器经久耐用。从1995年起先后为香港高发和香港 精电 等公司提供多台测量仪，至今高发公司属下的深圳高华和顺德龙高公司仍在使用，他们经过多年在不同环境条件下使用仪器不用维修或较准仍能*对同一样品测量结果的一致性。