SH系列手动/半自动晶圆探针台，针对6/8/12英寸晶圆有SH6/SH8/SH12之型号,方便加装探针卡进行多Die重复测试，另可加载加热卡盘和根据客户需求改制。

型号SH-8晶圆测试探针台规格说明

特点

同轴驱动CHUCK

可以升级做射频测试

20X~4000X 光学显微放大

无后座力移动

针座平台可以快速升降便于wafer取放

针座平台可以微调升降便于探针卡再定位

规格

真空吸附型Chuck

8" 不锈钢

Chuck X-Y轴行程

8" x8"

Chuck 旋转角度

0~30 度

针座平台上下粗调行程

6mm 通过升降杆调整

针座平台上下细粗行程

25 mm 通过旋转手轮

针座平台

可以放置12 针座

显微镜X-Y轴行程

1" x1"

需求

电力

110 VAC, 60Hz

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸

780mm长 x 660mm宽 x 700mm高（带显微镜）

重 80 Kg（带显微镜）

可选附件

Chuck快速拉出装置

显微镜倾仰装置

激光切割

探针卡夹具

加热台

*震桌

暗场 / Normarski 检测

带真空底座的活动Chuck

光强/波长测试接口部件

射频测试探头和线缆

有源探头

低电流/电容测试

高压测试

*声切割

视频系统

显微拍照系统

封装器件夹具

PCB板夹具

液晶套装

屏蔽箱

测试平台

带脚轮的仪器柜

真空吸附型Chuck

镀金Chuck