二、各种传感器性能介绍

1、 陶瓷压阻压力传感器工作原理及性能介绍

传统的测量强腐蚀介质的方法是使用*的隔离膜片和灌充液系统，这种方法的缺点是费用高，安装不方便，而干式陶瓷传感器的化学稳定性远**好的不锈钢和其它*腐材料，几乎可以测量*介质，并且没有灌充液和隔膜系统，体积小，安装方便。

*腐蚀的陶瓷压阻压力传感器没有液体的传递，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥（闭桥），由于压敏电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号，标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0/3.0/3.3mV/V，可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定，传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性，传感器自带温度补偿0~70℃，并可以和*大多数介质直接接触。

陶瓷传感器由于没有液体的传递作用，*填充液，不会产生工艺污染。因此，在食品、医药等行业有着广泛的应用，加之是干式陶瓷膜片，故不受安装方向影响，其与德国Hirschmann系列连接器配用的压力变送器被广泛地应用在各种测量压力的场合。

2、陶瓷电容压力传感器工作原理及性能介绍

介质压力直接作用于陶瓷膜片，使测量膜片产生偏移。正常的压力下膜片偏移0.025mm。*压状态也只是膜片偏移0.1mm。此时，测量膜片贴到了陶瓷支架上，避免了损坏。膜片位移产生的电容量，由与其直接连接的电子部件检测，放大和转换为标准信号输出。

3、扩散硅压力传感器工作原理及性能介绍

316不锈钢膜片感知过程压力，通过硅油传输到硅膜片的一侧；同时参考压力(大气压，密封压、*压)作用于膜片的另一侧，压力差产生一个应力场，它使硅膜片一侧压缩，另一侧拉伸。分别处于压缩区的二个应变电阻和拉伸区两个应变电阻感受压力变化引起阻值变化。这四个电阻组成惠斯登电桥，在恒流源供电情况下，将压力信号转化为电信号。此信号经差分归一化放大器、功率放大器、电压电流转换，变成为与压力成线性对应关系的4—20mA标准输出信号。

锅炉负压、暖通风压、*压、低压、液位使用硅传感器是*适合的。硅传感器在小量程时有很高的精度，通过精密的温度补偿，可以实现在低量程测量时的高稳定性和*。在一些*应用中，例如：食品和制药，充*橄榄油的硅传感器，还*合国际3A卫生标准。

4、硅—蓝宝石压力传感器工作原理及性能介绍

采用"蓝宝石-硅"工艺，可以在一个器件中兼备很多理想特性：工作温度*宽（-200～500℃），*长压力疲劳寿命，*好的稳定性，这是一种几乎没有漂移和无需维护的产品。

蓝宝石系由单晶体*缘体元素组成，不会发生滞后、疲劳和蠕变现象；蓝宝石有着*好的弹性和*缘特性，对温度变化不敏感，即使在高温条件下，也有着很好的工作特性；蓝宝石的*辐射特性*强；另外，硅—蓝宝石半导体敏感元件，无p-n漂移，因次，*简化了制造工艺，*了重复性，*了高成品率。表压压力传感器和变送器由双膜片构成；钛合金测量膜片和钛合金接收膜

片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片，被焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上。在压力的作用下，钛合金接收膜片产生形变，该形变被硅—蓝宝石敏感元件感知后，其电桥输出会发生变化，变化的幅度与被测压力成正比。电桥电路将应变电桥的失衡信号通过放大和调制转换为标准的电信号输出（0-10，4-20mA或1-5V）。

在*压压力传感器和变送器中，蓝宝石薄片，与陶瓷基*玻璃焊料连接在一起，起到了弹性元件的作用，将被测压力转换为应变片形变，从而*压力测量的目的。

5．近年来推出的溅射薄膜压力敏感元件及其压力传感器，在国际上是*的，具有前沿性技术水准。它延用了测量压力的金属弹型膜片原理，再注入新的离子束溅射等*工艺手段和微机械加工方法，制成敏感压力的桥路电阻，使它具有如下特点：1、不锈钢类型的弹性膜片材料（17-4PH）耐腐蚀；无隔离膜片，不用灌油充液，体积小，质量轻；2、没有PN结带来的高、低温误差大和工作温区小的问题；C工作条件下精度为&plu*n;0.25%；高稳定性，（1000万次压力循环，其漂移量?C；测量压力范围宽（0.7MPa~220MPa）；体积小（敏感膜片直径*为Φ7mm），金属一体化结构，结实*；测量精度可达0.05%（包括非线性、迟滞和重复性）；在-40~+150?C），温度漂移小0.001%?C，整机为-40~+150?3、不受原始贴片方法带来的蠕变、老化缺陷的影响，测量压力稳定性好。归纳起来，这种溅射薄膜压力敏感元件及其压力传感器的优点为宽的工作温度范围（敏感元件为-40~+200< 0.1%）；过裁压力为1.4~2.2倍。利用这种压力敏感元件可制成适用工业各领域使用的压力传感器。*是它的高*性，高稳定性，宽温度范围和小体积轻质量的特点，更适用于航天、航空、坦克、兵器、舰船等军事部门，它的批量生产能力，亦适用于大量使用的汽车工业。它的耐腐蚀性能力，可为石油、化工行业测量压力服务。

三、如何选择适用于您的工业现场的不同种压力传感器的变送器？

1、我公司有*的仪表选型工程师根据您所提供的工业现场情况协助您做出正确的判断。

2、当您自己选型的时候，请考虑以下几点因素：

1.经济实惠的陶瓷压阻压力传感器

● 一般情况下应用

● 需频繁更换的场合

● 价格低

2.*的扩散硅压力传感器

● 测量精度高

● 需要测量大气压、密封压、*压的真空场合

3.*适合食品生物制药领域使用的陶瓷电容压力传感器

● 无充油等中间介质

● 无污染环境下使用

● 耐冰冻结晶和粘稠介质

● *过载能力高

4.用于*温、*稳定的硅—蓝宝石压力传感器

● 钛合金膜片*强腐蚀性

● *-100℃~600℃

● *稳定性，年漂移小于0.1%FS

5.高压力、无隔离膜片、工作温度范围宽选—溅射薄膜压力传感器

● 耐腐蚀；无隔离膜片，不用灌油充液

● 测量压力范围宽（0.7MPa~220MPa）

● 工作温度范围（敏感元件为-40~+200< 0.1%）

四、各种传感器测量范围（详见选型表）

1、陶瓷压阻压力传感器：

表压、*压 温度范围：0~70℃ 0~100KPa到0~60Mpa 任意量程

2、扩散硅压力传感器：

*对压力、表压、密封压-7KPa~0到0~35Mpa 任意量程

3、陶瓷电容压力传感器：

表压、*压 -2.5~2.5KPa到0~7Mpa 任意量程 可正负测量*大&plu*n;50KPa

4、硅—蓝宝石压力传感器：

表压、*压 温度范围：0~1000℃ 0~40KPa到0~160Mpa 任意量程

5、溅射薄膜压力传感器

表压、*压 0.7MPa~220MPa 温度范围：-40~+200

五、技术参数

精度等级： 0.1%、0.2%、0.5%

输出信号： 电流4～20mA；电压：0～5V或指定输出

量程迁移： 可做标准量程10：1的迁移

结构和材质： 外壳-模压铸铝传感器-96%氧化铝陶瓷密封材料-氟素橡胶，PTFE

工作电压：24VDC

震动影响：任意轴上，200HZ/g为0.014%FS

*护等级-IP65、*尘、*喷水

过程连接件：316L不锈钢 信号线孔-PG16