企业名：有研半导体材料股份有限公司
类型：
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联系人：销售
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型号:150 mm 硅 抛 光 片
本公司主要生产半导体硅材料,如150mm 硅 抛 光 片,200150mm 硅 抛 光 片,5英寸区熔硅单晶等.
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生长方法 |
直拉CZ |
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直径与公差 (mm) |
150.0 ± 0.2 |
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型号/掺杂剂 |
P型/硼 N型/磷、砷、锑 |
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晶向 |
<100> / <111> |
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电阻率 (Ω·cm) |
0.003-50 |
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径向电阻率变化 (%) |
P型 < 6 N型 < 25 |
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氧含量与公差 (at  ) |
5.0-7.8×  ± 0.5 |
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径向氧含量变化 (%) |
< 5 |
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碳含量 (at ) |
≤ 2.0×  |
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金属铁含量 (at ) |
≤ 1.0×  |
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表面金属 (at  ) |
铜 / 铬 / 铁 / 镍 ≤ 5.0×  铝 / 锌 / 钾 / 钠 / 钙≤ 2.0× |
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厚度 (微米) |
按SEMI标准或用户要求SEM |
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厚度公差 (微米) |
±15或用户要求±15 |
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总厚度变化 TTV (微米) |
< 2.5 |
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平整度 TIR (微米) |
< 1.2 |
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局部平整度 STIRmax (微米) |
< 0.3 |
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翘曲度 (微米) |
< 30 |
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颗粒(# per wafer) |
< 30 (for size > 0.2 微米) |
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