品牌:K-mate 型号:VENA-500 外形尺寸:430mm（D）x220mm（W）x130mm（H）（mm） 适用范围:射频自动匹配器 产品:ISO9001:2000
VENA®射频自动匹配器
VENA系列自动匹配器用于0-1500W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物*象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；目前国内主要真空设备厂家的产品大多使用手动匹配器，使用起来十分不便，在设备启动后抽真空加功率起辉过程中，要不断地调整手动匹配器的阻*而使输出*工艺的要求，而自动匹配器则可以弥补这一缺陷，具有自动，快速，*，*，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降*程变化性。产品覆盖500W, 1000W, 1500W等功率。
特点与优势：
| 优势 | 特点 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1、性能**，长时间工作稳定
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