品牌:rational万濠 型号:SWIM1510MS
扫描白光干涉显微仪 |
产品特点及用途 |
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，*种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含： |
● 晶体（Wafer） ● 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk） ● 平面电组件（MEMS Components） ● 平面液晶显示器（LCD） ● 高密度线路印刷电路板（HDI PCB） ● IC封装（IC Package） 以上其它材料分析与组件微表面研究 详细内容请见万濠网页 |
| 扫描白光干涉显微仪 |
| 产品特点及用途 |
| 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，*种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含： |
| ● 晶体（Wafer）● 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk）● 平面电组件（MEMS Components）● 平面液晶显示器（LCD）● 高密度线路印刷电路板（HDI PCB）● IC封装（IC Package）以上其它材料分析与组件微表面研究 |
| *级的3D图形处理与分析软件（Post Topo） |
| ● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析● 提供自动表面平整化处理功能● 提供高阶标准片的软件自校功能● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度 （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出 |
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| *精密的干涉解析软件（ImgScan） |
| ● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹● 垂直高度可达0.1nm● 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果● 垂直扫描范围的设定轻松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择● 平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利● 具有手动/自动光强度调整功能以取得*佳的干涉条纹对比● 具有*的PVSI与*VSI扫描测量模式供选择● 具有*的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌● 具有自动布补点功能● 可自行设定扫描方向 |
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| 检测范例 |
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| 技术规格参数 |
| 型号 | SWIM 1510MS |
| 系统配备 | 显微镜、扫描控制器、移动平台、取得单元、个人计算机 |
| 显微镜 | 单眼显微镜（标准配件） |
| 干涉物镜（选配） | 放大率 视野（mm） 光学分辨率（nm） |
| 10X 0.5 1.12 20X 0.25 0.84 50X 0.1 0.61 | |
| 影像缩放 | 1.0X（标配） 0.5X（选配） |
| 垂直扫描控制器 | 扫描范围 扫描分辨率 扫描模式 光强度调整 扫描速度 | 100 μm 400 μm(选配) 0.1nm 自动 自动/手动 12nm/s（*快） |
| 样品移动平台 | X、Y平面多动平台 Z轴移动平台 位置数字显示单元 偏移调整平台 | 150mm*100mm,手动（标准配件） 80mm, 手动(标准配件) 三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1 μm） 手动 |
| 取得单元 | 影像传感器 感测器解析度 | 面型CCD（标准配件） 640*480图像(标准配件) |
| 电脑配件 | Pentium-Computer,17" LCD Monitor ,120G以上硬盘 |
分 析 软 体 | MS-Windows相容的资料撷取与分析软体包含ISO粗糙度/阶高分析,快速付利叶转换和滤多，多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等 |
| 阶*片(选配) | 50nm 170nm 230nm 470nm 1800nm |
友情链接： 深圳市元东发电子有限公司
