类型:氦质谱检漏仪 品牌:REBORN 型号:RBLD201，RBLD301
RBLD系列氦质谱检漏仪是基于INFICON 成套质谱模块开发而成的工业用氦质谱检漏仪.它继承了INFICON系列产品具有的*,稳定,高重复性,*小维护,*和易使用等优点,在此基础上,结合睿宝多年来在真空行业积累的经验使其成为一款*比,快速且稳定的氦质谱检漏仪.
RBLD201 RBLD301
低维护率
若检漏仪需要频繁地维修或维护就很难*它的重复性。设计于长期稳定运行和结合智能与自动调整的RBLD系列可在*小维护的需求下提供很高的*性。此外，RBLD系列是**离子源灯丝至少可使用三年的检漏仪。INFICON的三年保修期是*的，它的意义远远不只是在灯丝上节省费用。*的系统监测和优质的灯丝是高在机运行时间、*、温度稳定性和长期系统稳定性的重要因素。
灵*
适用于大多数测试系统的配置，RBLD系列在大多数常用测试条件下都可提供快速和高重复性的结果。可配置于粗检和精检模式,在每个模式中宽的灵敏度范围可使用灵活的测试技术。卓越的线性特性可在不同的漏率要求下对各部件每个漏点进行无需再校准的检漏。
新颖
RBLD系列具备完善的系统监测和本机诊断功能。仪器精细地监测与控制运行过程中的关键参数。诊断码自动提示,提供的诊断码结合用户手册便于进行故障查找。*的涡轮分子泵和及其电子学单元**长的在机运行时间。简单与牢固的双流式涡轮分子泵提供转子位置*的高稳定性和*震性，大大地延长了涡轮泵的使用寿命。
优点:
■ 卓越的人性化设计，带给您简单快捷的操作
■ 高在机运行时间
■ 预热时间短
■ 自动寻找氦峰、自动校准、自动量程转换，自动故障显示
■ 全中文显示，清晰明了
■ 音频报警,阈值可调
■ 指数,模拟光柱两种漏率显示形式
■ 模块化设计, 便于维护和维修
■ *,*
功能说明：
RBLD系列可运行于真空检漏或吸*检漏模式.它能定量检测流过微小漏孔的氦测试气体.测量的气体流量被转换为流率或漏率.其运行原理是基于逆流检漏,即流动的氦气逆着被抽气流的方向进入涡轮分子泵然后进入质谱仪,而重的气体则被分子泵排出.
RBLD系列包含下列主要组件:
※作为检测系统的180°扇形场质谱仪
※高真空泵系统
※用于供应仪器电源和进行讯号处理的电气和电子学组件
质谱仪*能工作于高真空条件下,即质谱仪中的压强*须低于10-2Pa.由涡轮分子泵产生这个真空环境,它的前级泵是泵模件中的旋片泵,或用户真空系统中的真空泵. 180°扇形场质谱仪用于分离氦离子和其他经电离后的气体产生的离子，只有氦离子能进入静电放大器中，被放大后的信号*终被电子学组件处理并显示为漏率值。
主要配件介绍:
INFICON质谱模块
模块集成了PFEIFER-VACUUM双流式涡轮分子泵TMH071及其涡轮分子泵控制器TC-600；离子源，2根钇/铱长寿命灯丝；磁偏转系统；皮拉尼真空计；前置放大器。
PFEIFFER VACUUM双流式涡轮分子泵
技术指标：
电 源 DC24V&plu*n;5%
转 速 1500（90000）Hz(1/min)
*限压力 5×10-3 Pa
温度要求 -25℃ - +55℃
湿度要求 5% %
离子源
离子源采用能量为80eV的电子.电子由热阴*发射被引向正电位的阳*. 它们并不直接射向阳*,而是往返数次后*后到达线圈形的阳*. 在行进的途径中撞击气体原子,将其电离. 这些离子由与质量关联的引出孔径从离子源引出进入磁分离系统. 阴*与用敷涂氧化钇的铱带制成. 此涂层可使铱灯丝在比钨灯丝低得多的温度下工作,并具有*好的*脆裂,氧化,水蒸汽和碳氢化物的性能。
磁分离系统
180°偏转的扇形磁场用作磁分离系统. 由于垂直于离子束的不均匀磁场, 在这个方向离子得到附加的聚焦. 这可大大地*灵敏度. 来自其它气体的不需要离子被中间孔径排斥.
前置放大器
放大质谱仪的离子收集*上收集的电流. 其增益可四级转换. 模拟输出电压的转换和处理由控制组件执行. *灵敏量级的检测限值约为1x10-15安.
直联旋片泵TRP-12
技术指标：
电 源 AC220V&plu*n;5%
抽气速率 50 Hz 3.0 L/S
60 Hz 3.6 L/S
*限压力 5×10-2 Pa
皮拉尼真空计
技术指标：
电 源 DC24V&plu*n;1%
测量范围 1.0×10-1Pa - 1.0×105Pa
温度要求 +5℃ - +40℃
湿度要求 5% %
RBLD系列氦质谱检漏仪与客户系统的组装结构:
RBLD部分 用户系统
真空*号
图示为典型的氦质谱检漏仪和被检系统的连接结构，对于容积较大的被检腔体用户须提供辅助的欲抽泵组，一般为机械泵，在需要的情况下还需要配置罗茨泵和扩散泵。在检漏过程中，检漏仪根据不同的入口压强值条件下在不同的模式下自动转换，RBLD系列在入口压强在1500Pa时进入粗检模式，入口压强30Pa<P<100Pa进入低灵敏度，入口压强P<30Pa进入高灵敏度，模式切换均自动完成。
配置：
序号
| 名称
| 型号
| 生产商
| 参数
| 质量*
| |
1
|
分子泵
|
TMH071
|
PFEIFER VACUUM
| 电源：DC24V
抽速：氮气 33 L/s
氦气 39 L/s
氢气 32 L/s
转速：1500Hz
(/min)
|
1年
| |
2
|
离子源
|
LDS2010
|
INFICON
| 带两根长寿命灯丝的离子源（钇铱合金阴*）
|
3年
| |
3
|
质谱室
|
LDS2010
|
INFICON
|
180度磁偏转，单聚焦
|
3年
| |
4
|
离子收集器
|
LDS2010
|
INFICON
| 1E-15 安培级 静电放大器
| 3年
| |
5
|
机械泵
|
RBLD-301
|
GHD-030
|
ULVAC日本爱发科
| 电源： AC220V
抽速： 0.5 L/s
*限真空6.8e-1 Pa
|
1年
|
RBLD
-201
|
TRP-12
|
北仪优成真空技术有限公司
| 电源： AC220V
抽速： 3 L/s
*限真空：6.8e-1 Pa
|
1年
| ||
6
| 电磁阀
| GDC-16A
| 上海西马特机电
| 电源：DC24V
通径：DN 8
| 1年
| |
7
| 吸*+喷*+氦气袋
|
|
|
| 1年
| |
8
| 波纹管
| DN-25KF
|
| 1.5米
|
| |
9
| 标准漏孔
| L-08
|
| -8量级漏孔
| 1年
| |
性能介绍:
操作方式 | 5.6寸64K色TFT触摸屏中文界面 |
外形尺寸 | RBLD201 46x87x61 (宽 x 高 x 深) CM RBLD301 67x32x60 (宽 x 高 x 深) CM
|
质谱仪 | 180° 磁偏转 |
灯丝 | 2根镀有氧化钇的铱阴* |
真空连接 | DN 16 KF / DN 25 KF |
电源电压 | AC220V(&plu*n;10%) 50/60 Hz |
功率 | RBLD201 <800 W RBLD301 <500 W |
*大进气口压强 | 粗检模式 1500Pa 低灵敏度 (纯逆向气流) 100Pa 高灵敏度（顺流检漏） 30Pa |
预热时间
| ≤ 3分钟
|
可检气体 | He2 He3 He4 |
*小可检漏率 | 低灵敏度(纯逆向气流) 1.0x 10-09 Pam3/ s
高灵敏度（顺流检漏） 1.0x 10-11 Pam3/ s
|
测量范围 | 1.0x 10-11 Pam3/ s至1.0x 10-02 Pam3/ s
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响应时间(至讯号的63%) | <1秒
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