品牌:TCS208F3气体热导传感器 型号:TCS208F3气体热导传感器 种类:气体 制作工艺:集成 输出信号:模拟型
| TCS208F3气体热导传感器 |
| TCS208F3技术参数 一． 技术参数 1. *大限值 *小 典型 *大 单位 热功率P（Rm1+Rm2）： — — 30 mW 测量温度Tm — — 180 °C 环境温度 -20 — +85 °C 气体压力（1） — — 200 bar 注：由于膜的热时间常数短，短时间的加过高的热功率会毁坏传感器。 2. 说明书： *小 典型 *大 单位 电阻，Rm1，Rm2（Tm=25°C）5 ? 电阻，Rt1，Rt75 ? 商，Rtx / ( Rm1+Rm2 )，x∈{1,2} 1.13 1.2 1.27 1 阻*差，Rm1 - Rm2 -2.0 — +2.0 ? α=温度系数，( Rm, Rt ) | 20 - 100°C 4.8（2） 5.5 5.9 10-3•K-1 G =几何系数（3） — 3.6 — mm τm =膜的热时间常数 — <5 — ms τdiffusion =气体交换的时间常数 — <100 — ms 漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2} — 0.001 0.01 %/week 散射结构的体积 — 0.2 — mm3 保持干净的周围环境空间大小 — 100 — mm3 基础材料 硅,采用蚀刻技术获得微观结构 尺寸结构: 包括底座 不包括底座 3mm × 3mm × 1mm 13mm Ø × 15.4mm 暴露在空气中的材料 Si, SiOxNy, 金, 环氧材料 注释: (1) 根据供应商的说明书对于适当的设备提供的压力参数 (2) α的*小值只适用于与低规格电压辅助源结合的情况. 产品会不断的改良使它更接近于DIN 43760的规格. (3) 因数G是由内部的传感器的机构决定的. 传感器的机械测试: 振动: *合IEC 68-2-6 附录B (1982) 10圈,&plu*n;1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1阶/分钟 冲击: *合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),径向和轴向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms. 二． 使用注意事项 1. 传感器的操作 在每个TCS208F上有四个阻*Rm1, Rm2, Rt1和Rt2,这四个阻*分别连接在TO8底座上的八个引脚上.在TCS208F3上Rm1, Rm2, Rt1和Rt2串联连接.如图1中给出了传感器上的引脚排列.应该在两个电阻膜上加相同的热功率,以避免加热表面的热梯度. 图1 用来测量周围环境的温度的Rt1和Rt2上的电压不能*过加在Rm1和 Rm2上的电压,以避免加热芯片. 2. 环境温度的影响 电阻膜指定的热功率与传感器芯片的固体部分相比有一个*额温度?T, 受周围环境温度的影响是通过气体的热传导很少,气体的温度系数(典型值为 10-3/°C).电阻值随着周围环境的改变.因此通常情况下是要做温度补偿的. 3. 推荐使用的电路 这里推荐三个电路.*个是使用一个对于温度无限制的膜，以*热传导率在一个广泛范围内的快速变化而导致的膜的毁坏.其他两个采用膜的电流恒定的(或者是串联了一个电阻的电压恒定).都可以*额的温度的公式: (1). *额温度恒定的操作 图2a给出了传感器*额温度恒定的温度补偿应用回路。膜加热/测量阻*Rm1和Rm2串联连接在两个放大器之间。其中一个环境温度测量阻*(Rt1)是*个放大器的负反馈，这两个放大器形成一个正反馈回路。这个回路将会处在稳定状态且有一个总的增益。这个增益由Rm ( = Rm1+Rm2 ) a和Rt ( = Rt1 )的电流和电压的非线性作用决定，而Rm和Rt依次由温度和传感器中的气体的热传导率λ决定。*额温度?T由R1 / R2的值决定。 通过计算回路中的( Rm1 + Rm2 ) / Rt1值，这个信号是温度补偿，另外外部温度二级补偿可以通过Rt2实现。二*管决定了回路输出电压U1的*性，U1的大小定义为下式： 应用电路参数举例： 条件：?T = 36.4 K ; U1 = 5.8 V对应λ(N2) = 0.0275 W/m•K (温度： 50°C) 结果：R1 / R2 = 1.00; R2 = 1.5 k?; R1 = 1.5 k? 灵敏度：在 中增加1%的He电压增加140mV。 图2a：*额温度恒定的应用电路 （2）恒定的膜电流操作 图*中给出了恒定的膜电流传感器的二级温度补偿回路。两个加热/测量电阻膜Rm1和Rm2在操作放大器反馈回路中串联连接。温度补偿负参考电压-Uref通过R1驱动一个恒定电流。相同的电流流过电阻膜。测量环境温度的阻*Rt1与Rt2串联连接在两个放大器之间提供温度补偿。 图*：恒定膜电流操作应用电路 偏置和增益通过二阶修正阻*R2和R3 |
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