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品牌:昊源 类型:特种电源 型号:BP系列 输入电压:380（V） 输出功率:可定制（W） 输出电压:0-1200（V） 工作效率:90（%）
单*脉冲电源与直流脉冲电源有相同的用途，其输出为单*脉冲，具有脉冲幅值稳压功能。使用该电源能明显减少工件打火，通过调节脉冲频率及占空比可*和控制成膜速度和温度，增加膜基结合力，*沉积速率。
品名 | 单级脉冲偏压电源 | |
型号 | BP系列 | |
输入 | 相数 | 三相+N |
电压 | 380V | |
频率 | 50Hz | |
输入方式 | 4线（含*线） | |
输出 | 波形 | 脉冲 |
功率 | 10KW~100KW（可定制） | |
电压 | 0—1200V（可定制） | |
稳定度 | ≤1% | |
电流 | 0—100A（可定制） | |
稳定度 | ≤1% | |
纹波及杂讯 | ≤2% | |
效率 | ≥90% | |
控制 | 控制方式 | 标准方式：恒压/高低压切换 |
可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 | ||
控制接口
| 标准方式：面板手动 | |
可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) | ||
保护 | 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、*载等保护功能 | |
冷却 | 风冷或水冷 | |
外型 | *护等级 | IP21 |
单元尺寸 (W*D*H) | 箱体：440(W)X260(H)X580(D)（20KW风冷） 面板：482(W)X280(H) | |
重量 | 30KG（20KW） | |
备注 |
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