类型:激光干涉仪 品牌:美国光动 型号:MCV-500 品种:激光干涉仪 测量范围:15M 测量分辨率:0.01 用途:精度测量

激光多普勒干涉仪(Laser Doppler Displacement Meter)简称LDDM，是由美国光动公司 (Optodyne, Inc.)总裁*正平博士发明的激光精密测量系统。该系统广泛应用于机床、坐标测量机、X-Y平台和各种精密仪器的测试和校准，它配上不同附件以后可检测加工中心21项误差中的18项误差。现就该系统的原理、功能、特点简单介绍如下。
1) 激
光多普勒干涉仪的工作原理
美国光动公司(Optodyne.Inc.)设计制造的激光多普勒干涉仪(LDDMTM）是应用雷达原理、多普勒效应及光学外差原理，与多普勒雷达原理相似。激光束经由反射镜反射时，因反射镜的运动而造成多普勒的频率偏移（Doppler shift），可表示如式1。
vCff???)/2(或zcf???)/2(2?? (1)
其中，及f???为频率及相位偏移，v?及z?为反射镜的速度及位移，变量是激光频率，C是*。当相位传感器量测到由反射镜位移所造成的相位变化时，若位移大于半波长度f2/?，计数器会记录*的相位变化：
??????N2 (2)
其中，所代表的是半波长度，N?是小于?2的相位角，因此总位移可表示为z? )2/(2?????Nfcz (3)
微处理器会计算读取的计数器和相位角，转换成英制或公制的移动量，以十进制来显示，并连结外部计算机或控制器。
2) 光
学系统上的比较
A. 一
般激光干涉仪光学系统图：由激光头、干涉系统(又称干涉镜、内有分光系统和参考镜)、靶标反射镜三大部份组成。（如图一）


图一

图二 光动
B. 激光多普勒干涉仪光学系统图：由激光头、靶标反射镜二大部份组成。（如图二）

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