类型:白光干涉仪 品牌:SNU 型号:SIS 2000 品种:其他干涉仪 测量范围:200×200×100(mm) 测量分辨率:0.1nm 用途:TFT产业、半导体、MEMS、高校科研、精密加工
品牌: | SNU | 型号: | SIS 2000 | 操作方式: | 自动 |
功能: | 检测、观察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型号: | SIS 1200 | ||||
机型 | SIS 2000 | |
工作台 | 尺寸 | 350mm×350mm |
倾斜度 | &plu*n;3° | |
测量行程 | X:200mm Y:200mm | |
Z轴行程 | 100mm | |
运动方式 | 自动,马达驱动 | |
扫描速度 | 30μm/sec | |
垂直分辨率 | 0.1nm | |
CCD | 黑白CCD,640×480像素 | |
物镜安装架 | 手动5个位移的可定位夹具 | |
镜头选配 | 镜头:5×、10×、20×、50× |
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