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脉冲磁控溅射电源

脉冲磁控溅射电源
脉冲磁控溅射电源
  • 加工定制:

  • 品牌/商标:

    普莱德

  • 型号/规格:

    PLD

  • 输出电流:

    20(A)

  • 输入电压:

    380(V)

  • 输出电压:

    1000(V)

  • 输出功率:

    20000(W)

  • 频率范围:

    55(HZ)

  • 产品:

    ISO90001

普通会员
  • 企业名:深圳市普莱德科技有限公司

    类型:生产企业

    电话:

    联系人:陈金龙

    地址:广东深圳中国 广东 深圳市宝安区 深圳宝安福永福海科技园D区C2栋2楼

产品分类
商品信息

     用途:

可适用于PVDCVD技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。

      特点:

  1. 采用*的逆变技术和IGBT功率开关器件设计
  2. 采用PWM控制技术、恒流特性好、电流控制*
  3. 自动恒流输出,不随气压变化,*沉积速率,工艺重复性好
  4. 克服靶中毒,抑制靶材弧光放电及*短路功能,内置电子电*,具有*佳的负载匹配能力
  5. LED数码电流、电压显示、清晰直观
  6. 轻巧、*、*。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上
  7. 模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好,可N 1备份、保障*生产
  8. 可根据用户量身定做设计制造特种电源系统

 主要技术项目:

型号T*e

项目Item

PL10kw

PL20kw

PL30kw

PL40kw

输入电源电压频率(VHz)三相四线

AC380 N

15%,50/60

AC380 N

15%,50/60

AC380 N

15%,50/60

AC380 N

15%,50/60

占控比(%

10~90

10~90

10~90

10~90

输出电流调节范围(A

0~15

030

045

060

稳流精度

1%

1%

1%

1%

额定输出电压(DCV

2001000

2001000

2001000

2001000

负载持续率(%

85

85

85

85

重量(KG

25

35

40

70

外形尺寸(mm

650(D)×480(W)×250(H)

860(D)×600(W)×600(H)

*缘等级

B

B

B

B

效率(%

90

90

90

90

功率因数COSΦ

0.93

0.93

0.93

0.93

外壳*护等级

Ip21

Ip21

Ip21

Ip21

工作模式

恒压、恒流、恒功率可任意选择,常规恒流输出

外部接口

本系列产品,均可设微机式PLC控制

联系方式

企业名:深圳市普莱德科技有限公司

类型:生产企业

电话:

联系人:陈金龙

地址:广东深圳中国 广东 深圳市宝安区 深圳宝安福永福海科技园D区C2栋2楼

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