微电机系统(MEMS)使探测器中的传感元件尺寸缩小，从而降低了成本、提高了精度并提供可媲美半导体的集成度。不幸的是，传感器所要探测的世界并不因其尺寸缩小而缩小，较小的MEMS器件更容易被灰尘和其它微粒阻塞。现在，欧姆龙电子部品(OmronElect
图 1展示了之前看到的一种此类拓扑。它将两个晶体管连接成达林顿对，其中 Q2 用作非加热环境温度计，Q1 用作自加热气流传感器。参考放大器A1 和电流检测电阻R3 调节恒定值67 mA = 加热电流= 333 mW @ 5 V 加热功率。 图 1典型的自热晶体管热气流传感器。 ...
微电机系统(MEMS)使探测器中的传感元件尺寸缩小，从而降低了成本、提高了精度并提供可媲美半导体的集成度。不幸的是，传感器所要探测的世界并不因其尺寸缩小而缩小，较小的MEMS器件更容易被灰尘和其它微粒阻塞。现在，欧姆龙电子部品(OmronElect
