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气体
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富士通研究所开发成功了可实时分析LSI生产线晶圆运送容器(FOUP)内空气污染的传感器(新闻发布)。今后,将通过富士通的LSI生产线进行效果验证。与金属板并用也可测定污染物作为LSI生产线的空气污染物分析方法,此前主要采用取样方法。但是使用这种方法
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