近日，2024（第一届）原子级制造论坛在北京举办。在论坛现场，与会专家围绕“推动原子级制造技术发展，推动未来产业创新”的主题展开了热烈讨论。业界专家一致认为，原子级...
分类：业界动态 时间：2024/3/1 阅读：288 关键词：原子级
ASM推出原子级单金属栅堆栈工艺，简化HighK与金属栅结合
ASMInternationalN.V子公司ASMAmerica,Inc.宣布，推出一个全新的原子层淀积(ALD)制程。该制程采用氧化镧(lanthanumoxide,LaOx)及氧化铝(aluminumoxideAlOx)高介电覆盖层，使得32纳
分类：新品快报 时间：2008/5/29 阅读：1104
