Veeco推出INSIGHT三维原子力显微镜 为45nm以下工艺带来高效精准测量技术

VeecoInstruments公司宣布推出InSight(TM)3D自动原子力显微镜（AFM）平台，为45nm和32nm的半导体工艺带来了非破坏性、高分辨率的快速测量方法。InSight3DAFM专为量产环境中关键尺寸（CD）、厚度和CMP的

分类：新品快报 时间：2007/12/14 阅读：1024 关键词：原子力显微镜