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Veeco推出INSIGHT三维原子力显微镜 为45nm以下工艺带来高效精准测量技术
VeecoInstruments公司宣布推出InSight(TM)3D自动原子力显微镜(AFM)平台,为45nm和32nm的半导体工艺带来了非破坏性、高分辨率的快速测量方法。InSight3DAFM专为量产环境中关键尺寸(CD)、厚度和CMP的
分类:新品快报 时间:2007/12/14 阅读:1024 关键词:原子力显微镜