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可实时分析LSI生产线空气污染传感器研成
富士通研究所开发成功了可实时分析LSI生产线晶圆运送容器(FOUP)内空气污染的传感器(新闻发布)。今后,将通过富士通的LSI生产线进行效果验证。与金属板并用也可测定污染物作为LSI生产线的空气污染物分析方法,此前主要采用取样方法。...
时间:2006/9/29 阅读:919 关键词:空气污染传感器生产线