离子源用以获得离子束的装置。在各类离子源中，用得最多的是等离子体离子源，即用电场将离子从一团等离子体中引出来。这类离子源的主要参数由等离子体的密度、温度和引出系统的质量决定。属于这类离子源的有：潘宁放电型离子源射频离子源...
基础电子 时间：2011/8/29 阅读：1753
Au/Fe磁性多层膜在离子束混合过程中的巨磁电阻效应在线研究
李波，李正孝（北京大学物理学院技术物理系，北京 100871）摘要：在离子束混合条件下，在线研究了Au/Fe磁性多层膜转变为纳米颗粒膜过程中的巨磁电阻效应，发现了不同磁场强度下的离子束混合对巨磁电阻效应影响的初步规律，测量了不同注入...
新品速递 时间：2007/4/29 阅读：1907
（1、中国科学院电工研究所，北京100080；2、中国科学院研究生院 北京100039） 摘要：聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它大大提高了微电子工业上材料、工艺、...
新品速递 时间：2007/4/29 阅读：2264
