从中国机械工业联合会获悉，近日，中国机械工业集团有限公司所属沈阳仪表科学研究院承担的沈阳市高新技术产业发展计划项目“高性能硅电容压力传感器”顺利通过验收。该项目采用先进的微电子和微机械加工相结合的工艺技术，在硅电容传感器...
国机集团所属沈阳仪表院承担的沈阳市高新技术产业发展计划项目“高性能硅电容压力传感器”近日顺利通过验收。该项目采用先进的微电子和微机械加工相结合的工艺技术，在硅电容传感器设计、制造工艺技术、传感器封装结构等方面具有创新性，...
分类：业界要闻 时间：2011/8/24 阅读：748 关键词：高性能
1 引言 双面接触式电容压力传感器的原理是基于单面接触式电容压力传感器而来的。其工作原理：当传感器的受压膜片（即梁）与基底距离很近时，膜片受压后与基底接触，当...
技术方案 时间：2011/9/5 阅读：4030
