等离子增强化学气相沉积PECVD 北京特特博万德科技有限公司

  • 型号/规格:

    可选择

  • 品牌/商标:

    美国

北京特博万德科技有限公司长期供应等离子增强化学气相沉积PECVD,进口产品,质量保证,相关产品信息如下: 主要特点: 1.单个基片、碎片或带承片盘的基片(3”-12”尺寸) 2.适用于实验室和试制线生产 3.沉积薄膜:氧化物、氮氧化物、氮化物和无定形硅 4.操作简单通过打开室盖,直接将基片装入工艺室 5.可选配一个ICP或三极管(Triode)源,三极管可获得更高密度等离子 高品质,质量众多客户见证,如有需要,欢迎来电咨询。

热点排行

广告