PUR-TX
英国密析尔
PUR-TX 高纯气露点变送器 / 在线露点仪 在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。 Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。 亮点 · 测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV 1/10亿) · 测量稳定,重复性好 · 高度集成的采样装置 · 模拟和数字输出 · 安装简便 · VCR 过程接口 · 设计紧凑小巧 · 显示/报警单元可选 技术指标 传感器 传感器类型 密析尔陶瓷湿度传感器 量程 -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C) ±1°C-40 ~ -60°C; ±2°C-61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) 分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~
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