企业名:上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
类型:经销商
电话: 021-50265166
手机:13564994396
联系人:李先生
邮箱:bedhang@hotmail.com
地址:上海上海市银都路3399-10-202
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在德国,耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔(JENAer)公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中,由于具有*的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理,德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪,并非单频干涉原理。
产品功能 定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量,还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等,从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量,广泛应用于*动态*工艺中的机械定位和系统控制。 性能优势
l 真正意义上的双频激光干涉仪,频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。
l *部件皆在德国生产制造,*非为了降*而在第三方*进行部件*。光学组件*采用蔡司光学镜,是世界上*一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 测量系统采用模块化设计,各种测量功能之间互不影响。若用户先期*要干涉仪的部分功能(如*测量直线度),则*采购所需功能部分的光学部件(直线度光学镜),其他不需要的功能暂时可以不采购;若后期有其他功能的需求,补充采购功能对应的部件即可。
l 激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整,调整结果更准确。
l 采样频率更快,**1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体*大速度16m/s(可选);采用*AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可*为0.1nm)。
l 无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。
l 信号*<200ns;对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,请选用ZLM800型双频激光干涉仪,*多可实现六轴联动。
工作原理
*型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器,采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm,640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对*物体进行测量,不会出现干扰误差,信号*时间*短。
采用光纤电缆,把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上,避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此,ZLM700双频激光干涉仪*适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。
技术参数
型号:ZLM700
AE700数据处理器
AE950数据处理器
He-Ne激光平均波长:
632.8 nm
632.8 nm
激光稳频精度:
一小时:2x10-9(±0.002ppm)
寿命内:2x10-8(±0.02ppm)
一小时:2x10-9(±0.002ppm)
寿命内:2x10-8(±0.02ppm)
系统精度(0-40℃时):
±0.4ppm
±0.4ppm
线性误差:
±1.25nm(角隅干涉镜)
±0.62nm(平面干涉镜)
±0.3nm(角隅干涉镜)
±0.1nm(平面干涉镜)
采样速度:
内部0.005Hz-40MHz
外部0.001Hz-10MHz,可调
内部0.005Hz-40MHz
外部0.001Hz-10MHz,可调
光束直径:
6mm(可选3.2mm)
6mm(可选3.2mm)
激光管*大功率:
1mW(II级激光)
1mW(II级激光)
预热时间:
12分钟
12分钟
*大速度:
4m/s(可选16m/s),线速度
320rad/s,角速度
1m/s,线速度
80rad/s,角速度
*大加速:
无限制
无限制
速度测量精度:
±0.5ppm实测值
±0.5ppm实测值
位移测量分辨率:
2.5nm(角隅干涉镜)
1.25nm(平面干涉镜)
0.62nm 可选
0.6nm(角隅干涉镜)
0.3nm(平面干涉镜)
0.1nm 可选
位移测量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
线性测量距离:
40m(可选120m)
40m(可选120m)
线性度测量分辨率:
2.5nm(角隅干涉镜)
1.25nm(平面反射镜)
0.62nm 可选
0.6nm(角隅干涉镜)
0.3nm(平面反射镜)
0.1nm 可选
线性度测量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
角度测量范围:
± 15°,20m轴线范围
± 15°,20m轴线范围
角度测量分辨率:
0.062μrad(3x10-3 角秒)
0.015μrad(3x10-3 角秒)
角度测量精度:
±0.1ppm实测值
±0.1ppm实测值
平面度测量范围:
20m行程
20m行程
平面度测量分辨率:
0.062μrad(3x10-3 弧秒)
0.015μrad(3x10-3 弧秒)
平面度测量精度:
±0.2%实测值
±0.05μrad/米行程
±0.2%实测值
±0.05μrad/米行程
直线度测量范围:
± 5mm,2m或10m行程
选用角度干涉镜可测30m行程
± 5mm,2m或10m行程
选用角度干涉镜可测30m行程
直线度测量分辨率:
145nm,10m行程
29nm,2m行程
36nm,10m行程
7.25nm,2m行程
直线度测量精度:
±0.5%实测值,2m行程
± 2.5%实测值,10m行程
±0.5%实测值,2m行程
± 2.5%实测值,10m行程
垂直度测量范围:
± 5mm,2m或10m行程
选用角度干涉镜可测30m行程
± 5mm,2m或10m行程
选用角度干涉镜可测30m行程
垂直度测量分辨率:
145nm,10m行程
29nm,2m行程
36nm,10m行程
7.25nm,2m行程
垂直度测量精度:
±0.5%实测值± 0.5角秒(2m)
±2.5%实测值± 0.5角秒(10m)
±0.5%实测值± 0.5角秒(2m)
±2.5%实测值± 0.5角秒(10m)
回转轴测量分辨率:
0.00005°
0.00005°
回转轴测量精度
0.00025°
0.00025°
数据接口:
积分信号
32 Bit (实时信号)
信号*小于20 ns
积分信号
32 Bit (实时信号)
信号*小于20 ns
数据分析标准:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境:
温度:15°C-30°C
湿度:<90%无冷凝
温度:15°C-30°C
湿度:<90%无冷凝
储存环境:
温度:10°C-40°C
湿度:<95%无冷凝
温度:10°C-40°C
湿度:<95%无冷凝
环境补偿器AUK:
环境传感器精度: <0.1 ℃
压力传感器精度: <1.5 hPa
相对湿度精度: <5%
材料传感器精度: <0.05 ℃
环境传感器精度: <0.1 ℃
压力传感器精度: <1.5 hPa
相对湿度精度: <5%
材料传感器精度: <0.05 ℃
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应用光路图
以上为直线度测量示意图,包括水平方向直线度和垂直方向直线度
以上是平面度测量示意图
以上是垂直度测量示意图
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图
以上是对角测量示意图
以上是俯仰角测量示意图
以上是偏摆角测量示意图
以上是滚动角测量示意图
以上是回转台定位精度测量示意图
以上是对长度标准器(长度规)进行标定的应用
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