ZLM800
德国耶拿尔
企业名：上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
类型：经销商
电话： 021-50265166
手机：13564994396
联系人：李先生
邮箱：bedhang@hotmail.com
地址：上海上海市银都路3399－10－202
产品功能
ZLM800多轴路同步测量激光干涉仪——真正的双频激光干涉仪，主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等，*多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系检测物体的振动变化。
1.纳米级的多轴联动位移、速度、加速度的动静态测量分析及运动控制环同步测量校准；
2.同步实时测量多轴联动驱动部件的俯仰、扭摆、滚动的角位移变化, X-Y-Z 轴的联动插补位移误差及驱动匹配误差分析；
3.纳米级振动的多轴向同步数据采集测量和分析。
性能优势
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型号：ZLM800
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使用*PCI或机架式数据处理器
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He-Ne激光平均波长：
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632.8 nm
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激光稳频精度：
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一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
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系统精度（0-40℃时）：
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±0.4ppm
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光束直径：
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6mm (可选3.2mm)
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激光管突发*大输出功率：
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5mW (激光等级2)
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每束光可测量的轴数：
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*多6个
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线性测量距离：
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2m
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角度测量范围：
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± 10°
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*大速度：
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2m/s
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*大加速：
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无限制
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*高采样频率：
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内部1MHz，外部40MHz
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预热时间：
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10分钟
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位移测量分辨率：
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1.25nm
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位移测量精度：
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±0.4ppm (μ/m)
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角度测量分辨率：
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0.003μrad
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角度测量精度：
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±0.1ppm实测值
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数据接口：
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积分信号
32 Bit (实时时间) 数据*< 20 ns |
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数据分析标准：
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ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
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工作环境：
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温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
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储存环境：
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温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝
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资料
复杂光路测量的应用.pdf
系统应用简介.pdf
企业名：上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
类型：经销商
电话： 021-50265166
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