∟ 其他电源IC(3)
满量程流量范围（N2） 5SCCM～30SLM 控制范围 2～100％F.S. 阀类型（及阀初始状态） 电磁调节阀（常闭） 准确度 ≤10SLM ±1％F.S. ＞10SLM ±2％F.S. 线性 ≤10SLM ±0.5～1％F.S. ＞10SLM ±2％F.S. 重复精度 ±0.2％F.S. 响应时间 ≤4sec 工作温度范围 5～45℃ 工作压差 ≤10SLM 0.2～0.8MPa ＞10SLM 0.2～0.6MPa 耐压 10MPa 漏气率 1×10-9SCCSHe 密封材料 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 接头选择 VCR 1/4” Swagelok 1/4”、1/8”或φ3、φ6mm 电插头形式 DB15 pin(Male) *电磁干扰 CE 重量 1.2Kg 主要特点： ★高耐压性 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★CE，国际兼容
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