半自动UV照射机

(型号:SUV-10)

 

 

1.   主要规格

 

1.1 框架尺寸:      6或8英寸 （DISCO或者K&S任选一种）              

1.2 膜种类:        UV膜

1.3 晶圆规格：     4，5，6，8英寸

1.4 照射光源:      波长352nm的黑色莹光灯管

1.5 工作台盘:      可以通过更换托盘来实现两个6寸的同时照射和一个8寸的照射

1.6 装卸方式:      产品手动放置与取出

1.7 托盘系统:      自动开打与关闭

1.8产品定位:       定位销定位框架

1.9电力供应:       单相交流电220V,5A

1.10压缩空气:      5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟1立方英尺

1.11体积:          650毫米(宽)*410毫米(深)*200毫米(高)

1.12净重:          40公斤

2. 机器性能:

2.1 控制系统:      简单的按钮控制工作过程，触摸屏设定照射时间等参数

2.2   冷却系统:      内置灯管冷却管路

2.3 设备维护：    易于拆卸，控制元件部分采用抽屉式机构，方便检测与维修

2.4功率损耗:       低功率条件下工作(约100W)

2.5 每小时产能:    >=180片（6寸）   >=90片（8寸）

 

3. 安装,培训及验收:

3.1 卖方负责将机器安装,调机,试运行及性能测试

3.2 卖方给于买方内部操作员工,工程师, 维护人员完善的技术培训直到他们可以稳定*地操  

   作机器

4. 保修条款:

4.1 卖方*设备*满足买方正常生产要求及购买规格
4.2 保修期为买方正式验收起12个月内

 

企业名：上海海展自动化设备有限公司

类型：生产企业

电话： 021-60510583

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联系人：李先生

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