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微压传感器技术

测量压电式微压传感器灵敏度的新方法

摘要:研制了一套压电微压传感器的性能测量系统,它采用均匀声腔硅油介质中传播的声波作为压力源,标准传感器和被测传感器同时接收波动声压,比较两传感器的输出,测定被测传感...

技术方案时间：2007/9/24 阅读：2066

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