你好,欢迎来到维库电子市场网
登录 | 免费注册
Canon首款EUV设备业已出货 最小线宽达24nm
SPIE先进光刻会议上传来消息,日本Canon开发的深紫外光刻设备已经发货,用于研发而非生产。Canon公司的SFET设备(small-fieldexposuretool)数值孔径0.3,视场尺寸0.2-x0.6-mm。据日本芯片研发联盟Selet
分类:行业趋势 时间:2008/2/28 阅读:274