今日,三星宣布已开始量产基于极紫外光(EUV)技术的14纳米DRAM芯片。继去年3月推出首款EUVDRAM后,此次三星将使用EUV的层数增加至5层,为其DDR5解决方案提供当下更为优质、...
分类:名企新闻 时间:2021/10/13 阅读:1316
摩尔定律除了每18~24个月可让晶片中电晶体数量增倍的技术推进,还包含了经济层面上的益处。事实上,过去20年因为摩尔定律的推进顺利,晶片的单位制造成本可以逐年降低,并造就了个人电脑的普及,以及智慧型手机的人手数机的情况。若半导...
分类:业界动态 时间:2019/2/26 阅读:489 关键词:EUV技术
英特尔公司正在计划将目前的193nm浸入式微影技术扩展到14nm逻辑节点,此一计划预计在2013下半年实现。同时,这家芯片业巨头也希望能在2015年下半年于10nm逻辑节点使用超紫外光(EUV)微影技术进行生产。但英特尔微影技术总监SamSivak
目前次世代微影技术发展仍尚未有主流出现,而身为深紫外光(EUV)阵营主要推手之一的比利时微电子研究中心(IMEC)总裁LucVandenhove指出,EUV技术最快于2014年可望进入量产,而应用存储器制程又将早于逻辑制程,他也指出,无光罩多重电子
分类:业界要闻 时间:2010/10/25 阅读:415
光刻设备商争相发展EUV技术 ASML Canon Nikon公布发展路图
近期举行的SPIE先进光刻技术会议上,ASML、Canon和Nikon相继介绍了他们各自的极紫外(EUV)光刻技术发展路途。SPIE会上,众芯片制造商就以下观点达成了一致:到22纳米及以下节点,必将使用EUV技术。目前为止,对于22纳米节点,除
分类:名企新闻 时间:2008/3/4 阅读:482