(西安理工大学,陕西西安 710048)摘 要:介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。关键词:单晶炉; 结构; BS法; 炉室上升中图分类号:TF806.9 文献标识码:B 文章编号:1004...
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摘要:采用自调整因子混合式模糊PID控制方法,对单晶炉的提拉速度进行控制。工程实际运行表明,该方法不仅能够提高系统的鲁棒性,还可以提高系统的动静态性能,获得了满意的控制效果。 关键词:单晶炉; 提拉速度; 自调整模糊控制器 ...
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