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上海汉虹12英寸半导体单晶炉批量投入产线使用

开始批量投入产线使用。该设备可稳定量产高品质大直径晶棒,也标志着12英寸硅片大规模、产业化布局取得了关键成效。  相较于8英寸国产硅片的量产进度,12英寸国产硅片远未进入产能释放阶段,与庞大的需求相比供应量远远不足。初步估计...

分类:名企新闻 时间:2019/8/5 阅读:1161 关键词:半导体

我国首台12英寸单晶炉研制成功

据科技日报报道,近日,国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”项目在北京正式通过科技部的验收,这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用单晶硅生长...

分类:业界要闻 时间:2007/6/12 阅读:797 关键词:单晶炉